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白光干涉测量模组气浮隔振器怎么选型
发布日期:2025-11-23 14:16 点击次数:171
标题:白光干涉仪老抖?教你三招选对气浮隔振台!
白光干涉测量能看到纳米级的表面形貌,但它最怕振动!镜头一晃,精密测量直接报废。解决之道就是气浮隔振器——它像给仪器穿了“气垫鞋”。怎么选型?看这三点:
隔振性能看频率: 隔振器有个“最低起效频率”。你家仪器主要怕哪种“抖”(比如车间低频晃动,还是设备自身高频震动)?选型时要确保隔振器的起效频率低于你需要隔离的主要振动频率。好比筛子网眼要比杂质小。
承载能力要匹配: 算清你的干涉仪主机+所有附件总重量。选的气浮台最大承载必须稳稳超过它。宁大勿小,超重了隔振效果大打折扣!
台面稳定是关键: 测量时桌面必须“纹丝不动”。关注隔振器的残余振动水平(单位是微米/秒或g),数值越小越好。特别是做超高精度测量时,这项参数是核心指标。
简单说:找准需要隔离的振动频率、算准仪器总重、盯紧台面残余振动量。 按这三步选,你的白光干涉测量立马稳如泰山,数据更精准!亲测有效!



